かって半導体チップの検査,計測用に分光式イメージングエリプソメータを検討していたので、その記録。
波長範囲:200~900nm
撮像範囲:約20mm□ (ダイサイズに相当)
測定時間:数秒以下
入射角:約70度
斜め方向から画像を取得するので、シャインプルーフ(Scheimpflug)系となり、撮像カメラをあおる必要がある。
NAを小さくする必要があるため、光学系は非常に暗い。そのためスループットを得るには超高輝度光源(例えばLDLS:レーザー励起プラズマ白色光源)を用いる必要がある。
下図は、反射屈折光学系(Catadioptric系)による設計例