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かって半導体チップの検査，計測用に分光式イメージングエリプソメータを検討していたので、その記録。

波長範囲：250～800nm

撮像範囲：約20mm□ (ダイサイズに相当）

測定時間：数秒以下

入射角：約70度

斜め方向から画像を取得するので、シャインプルーフ（Scheimpflug）系となり、撮像カメラをあおる必要がある。

下図は、オフナー光学系による設計例。ミラーのみで構成可能なため、色収差が発生しないのがメリットであるが、倍率は１倍固定となる。