かって半導体チップの検査，計測用に分光式イメージングエリプソメータを検討していたので、その記録。
波長範囲：200～900nm
撮像範囲：約20mm□ (ダイサイズに相当）
測定時間：数秒以下
入射角：約70度
斜め方向から画像を取得するので、シャインプルーフ（Scheimpflug）系となり、撮像カメラをあおる必要がある。
NAを小さくする必要があるため、光学系は非常に暗い。そのためスループットを得るには超高輝度光源（例えばLDLS:レーザー励起プラズマ白色光源）を用いる必要がある。
下図は、反射屈折光学系(Catadioptric系)による設計例
