かって半導体チップの検査,計測用に分光式イメージングエリプソメータを検討していたので、その記録。
波長範囲:250~800nm
撮像範囲:約20mm□ (ダイサイズに相当)
測定時間:数秒以下
入射角:約70度
斜め方向から画像を取得するので、シャインプルーフ(Scheimpflug)系となり、撮像カメラをあおる必要がある。
下図は、オフナー光学系による設計例。ミラーのみで構成可能なため、色収差が発生しないのがメリットであるが、倍率は1倍固定となる。
かって半導体チップの検査,計測用に分光式イメージングエリプソメータを検討していたので、その記録。
波長範囲:250~800nm
撮像範囲:約20mm□ (ダイサイズに相当)
測定時間:数秒以下
入射角:約70度
斜め方向から画像を取得するので、シャインプルーフ(Scheimpflug)系となり、撮像カメラをあおる必要がある。
下図は、オフナー光学系による設計例。ミラーのみで構成可能なため、色収差が発生しないのがメリットであるが、倍率は1倍固定となる。