目的
高アスペクト比構造(シリコン貫通電極,トレンチ等)TSVの光学検査用に低NAの反射型対物レンズを設計
要求:
NA<0.01
可視光源による実験
LDLS光源による実験
DUV光源による実験
反射対物レンズ
課題:
小さなNAと小さなスポットサイズを達成するために、ほとんどの光パワーが無駄になります。DUV波長域では、LDLS(スーパーコンティニューム)光源は使用できません。また、スループット対策としては、光源としてレーザー光源の使用やセンサとして高電子増倍管の使用が考えられます。