タグ: 反射対物レンズ

目的
高アスペクト比構造（シリコン貫通電極，トレンチ等）TSVの光学検査用に低NAの反射型対物レンズを設計

要求：
NA<0.01

可視光源による実験

LDLS光源による実験

DUV光源による実験

反射対物レンズ

課題：

小さなNAと小さなスポットサイズを達成するために、ほとんどの光パワーが無駄になります。DUV波長域では、LDLS(スーパーコンティニューム)光源は使用できません。また、スループット対策としては、光源としてレーザー光源の使用やセンサとして高電子増倍管の使用が考えられます。