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光学

イメージングエリプソメーター(反射屈折系)

かって半導体チップの検査,計測用に分光式イメージングエリプソメータを検討していたので、その記録。

波長範囲:200~900nm

撮像範囲:約20mm□ (ダイサイズに相当)

測定時間:数秒以下

入射角:約70度

斜め方向から画像を取得するので、シャインプルーフ(Scheimpflug)系となり、撮像カメラをあおる必要がある。

NAを小さくする必要があるため、光学系は非常に暗い。そのためスループットを得るには超高輝度光源(例えばLDLS:レーザー励起プラズマ白色光源)を用いる必要がある。

下図は、反射屈折光学系(Catadioptric系)による設計例

イメージングエリプソメータ(反射屈折光学系)
解像度曲線(OTF)

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光学

イメージングエリプソメータ(オフナー光学系)

かって半導体チップの検査,計測用に分光式イメージングエリプソメータを検討していたので、その記録。

波長範囲:250~800nm

撮像範囲:約20mm□ (ダイサイズに相当)

測定時間:数秒以下

入射角:約70度

斜め方向から画像を取得するので、シャインプルーフ(Scheimpflug)系となり、撮像カメラをあおる必要がある。

下図は、オフナー光学系による設計例。ミラーのみで構成可能なため、色収差が発生しないのがメリットであるが、倍率は1倍固定となる。

オフナー光学系によるイメージングエリプソメータ
MTF特性

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韓国

DMZ近くの蒸気機関車

韓国と北朝鮮の境界には非武装地帯(DMZ:軍事境界線)が存在します。

その近くに古い蒸気機関車が屋外で朽ち果てていたので、写真をとってきました。かっては満州や中国まで通っていたんでしょうね。

DMZ付近にあった蒸気機関車

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韓国

政治的主張を伴う韓国のボランティア活動

2012年頃の話です。当時私は、韓国企業に勤めており韓国ソウル市から車で一時間ほど離れたスウォン市に住んでいました。

その企業では毎月数時間から半日かけてボランティア活動を行っていました。あるとき、東南アジアの子供たちに筆箱を作って配ろうということで、筆箱の型紙セットが配布されました。

その型紙には以下の文言が記載されています。(原文ママ)

I love Dokdo.

Do you know Dok-do? (独島が大好きです。)

Dok-do Island belongs to Korea. (独島は韓国のものです。)

For the past 2,000 years, the sea between Korea ands Japan has been called the ‘East Sea’. Dokdo (a group of small islets) is in the East Sea and it belongs to Korea since ancient times. (過去2千年間、韓国と日本の間の海は「東海」と呼ばれてきた。東海には独島があり、古来より韓国の領土であった。)

The U.N. Forces also recognized Dokdo as being Korean territory in 1950. (国連軍も1950年に独島を韓国領と認定している。)

It is wrong that Japan insists Dokdo is their territory. (日本が独島を自国の領土と主張するのは間違っている。)

ボランティア活動に政治的主張が入るのはおかいと思い、私を含め当時の日本人従業員の殆どはそれに参加しませんでした。

その活動資金は韓国の慈善事業団体から出資されており、その慈善事業団体は韓国政府から補助を受けています。

独島の筆箱の型紙
独島の筆箱の型紙(上下反転)

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